• Home
  • Product
  • Motion Stage
Motion Stage

LM Guide Stage

  
Description
石定盤なしに軽量化、費用節減、納期短縮をしながら性能を改善しました。高速のPtoP運転を要するリペア機または検査機用途に最適です。

特徴
- FEM分析で高剛性、共振抑制鋼管フレームの設計/震動抑制、新制御アルゴリズムで制御性能を強化/ 高剛性及び軽量特殊素材の上軸ビーム(オプション)
Specification
Parameter
Unit
X₁, X₂
Y
Remark
Motor
-
JTKCA050
JTKCA0650
Iron-core type
Size
mm
3,720
3,000
Gen. 8
Storke
mm
2,700
2,400
Gen. 8
Load mass
kg
-
140
-
Position accuracy
㎛
2
2
after compensation
Repeatability
㎛
±1
±1
-
Straightness
㎛
20
30
-
Flatness
㎛
40
40
-
Yaw
arcsec
20
20
-
Pitch
arcsec
20
20
-
Verticalness
arcsec
-
±5
-
Speed
mm/sec
1,600
1,600
maximum
Acceleration
m/sec²
5
5
average
Speed ripple
%
±0.2/100
±0.2/100
at 100mm/sec
Stabilization tim
msec/lpos band(㎛)
650/±0.5
250/±0.5
200mm move at 400mm/sec
Jitter
㎛
±0.1
±0.1
-
List