- 円弧動作型コアレスリニアモータ
- 半径外部領域での直接駆動で高分解能、 制御安全性を実現
- 大型液晶基板(8～11世代)に対応する精密アラインメント及びインデックス駆動に最適
- アークモータの円周駆動方式は、中心軸駆動方式の既存のメカニズムに比べて基板の大型化による高トルク, 軸ずれ公差の最小化、
高剛性, 低い高さ、大きい中空空間、エンコーダ設置位置の設計自由度など多くの長所を保有

- 半導体、光学部品製造設備に応用
- 停止時安定性(50nm以下)、早い応答性
- リニアエンコーダ標準装着
- コンパクトデザイン

- ボールねじ駆動Z軸の精密位置決定ステージ
- カメラ、レーザーヘッドなどの垂直精密制御に最適化された構造
- 5相ステップモータまたはACサーボモータ駆動
- リニアエンコーダ付きでフルクローズドループFull closed-loop制御(オプション）