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LM Guide Stage

鉄材ベース標準ガントリステージ

石定盤なしに軽量化、費用節減、納期短縮をしながら性能を改善しました。高速のPtoP運転を要するリペア機または検査機用途に最適です。

特徴
- FEM分析で高剛性、共振抑制鋼管フレームの設計/震動抑制、新制御アルゴリズムで制御性能を強化/ 高剛性及び軽量特殊素材の上軸ビーム(オプション)

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LM Guide Stage

Acu-Positioner Ⅱ

Acu-Position ACPII シリーズは、Singleモータでガントリ構造を実現することで費用を節減させた革新的な製品です。


特徴
- Low-cost標準モジュール構造
- コンパクト、高剛性、軽量設計

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LM Guide Stage

Acu-Positioner Ⅲ

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LM Guide Stage

Cross Stage

小型ストロークシステムにおける経済的な汎用ステージです。 簡単な制御で精密な位置制御が可能です。

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LM Guide Stage

Gen. 8 High 加速度 Gantry Stage

- Stroke : 2,715mm×2,630mm
- 加速度 : 4m/sec²
- 速度 :1.6m/sec
- Settling Time : 250msec / ±0.5㎛
- 負荷質量 :230kg

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LM Guide Stage

Gen. 5.5 Gantry Stage

- Stroke : 2,110mm×1,650mm
- 位置精度 : 2㎛
- 繰り返し精度 :±2㎛
- ジャバラカバー、石ベース : Glass lifting & illumination 軸

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LM Guide Stage

Gen. 8 Dual Gantry Stage

- サイズ : 3,800mm×4,300mm
- Stroke : 2,510mm×2,590mm
- 繰り返し精度 : ±1㎛

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LM Guide Stage

Multi-Mover Dual Gantry Stage

- Stroke : 2,100mm×2,100mm
- ジッタ : ±0.05㎛
- 繰り返し精度 :±1㎛

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LM Guide Stage

300mm Wafer Cross Stage

- Stroke : 350mm×700mm
- Acceleraton : 10m/sec²
- 速度 : 15m/sec
- 位置精度 : 3㎛
- Settling Time : 250msec/±0.5㎛
- 負荷質量 :20kg

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LM Guide Stage

Water Proof Linear リニアモータ

- Stroke : 1,600mm
- 負荷質量 :500kg
- Water splashing environment

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LM Guide Stage

High 加速度 Cross Stage

- リニアモータ : 7,200N×3,600N (core type)
- Stroke : 800mm×800mm
- Accelertion :10m/sec²
- 速度 : 1.5m/sec
- Settling Time :80msec/±2㎛

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LM Guide Stage

Mini Multi Head Linear リニアモータ

- Head span : 50mm
- 繰り返し精度 : ±1㎛
- ジャバラカバー、石ベース : glass scriber / dispenser

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LM Guide Stage

機械的ベアリングステージ

- サーブマイクロン高精度ステージ
- マルチヘッド、多軸システム
- Z軸オプション
- 標準型及びカスタム設計
- 作業領域の拡大: 2,300mm x 5,000mm
- 用途 : FPD、PCB、電子機器半導体生産ライン

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