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Air Bearing Stage

Gen. 4 XYZ Ceramic Air Bearing Gantry Stage

セラミックス材質のエアベアリングガイドは石材質に比べて?直度が優れていて、高剛性で?形が少なく、 吸水率が少ないので?年?化が小さくて寸法の安定性に秀でています。エアベアリングステ?ジは、高精度が要求されるシステムに最適です。

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Air Bearing Stage

XY 平面(Co-planar) Air Bearing Stage

負荷がXY平面上で支持されることで、XY積層構造のステージで現れる負荷位置に基づく変形が少なく、機械的安定性が優秀で、低い高さに製作可能です。 また垂直Z軸と回転T軸が追加されれば多様なモーションが可能です。

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Air Bearing Stage

ガントリ、 ハイブリッド、 クロスタイプ

- ナノ級高精度ステージ
- 定速走行
- 標準型及びカスタム設計
- 小型から大型まで多様なサイズに対応
- Z軸オプション
- 用途 : FPD、PCB、電子機器半導体の生産ライン

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