-갠트리, 하이브리드, 크로스타입
-서브 미크론 고정도 스테이지, 멀티헤드, 멀티 액시스 시스템
-Z축 옵션
-표준형 및 전용장비 설계
-작업영역의 확대 ( 2300 x 5000 mm )
-용도 : FPD, PCB, 전자기기, 반도체 생산라인
-갠트리, 하이브리드, 크로스타입
-나노급 고정도 스테이지
-급가감속 및 정속 주행
-표준형 및 전용장비 설계
-소형부터 대형까지 작업영역확대
-Z축 옵션
-용도 : FPD, PCB, 전자기기, 반도체 생산라인
수직이동형 스테이지
-작업영역 : 350x450mm
-적용 : 포토 마스크 검사장비
복합 갠트리 스테이지
-작업영역 : 2300x2600mm
-적용 : 검사 및 리페어 장비
얼라인 스테이지
-외곽 : 400x400x95mm
-적용 : OLED 얼라인 및 검사기