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에어베어링 스테이지

Gen. 4 XYZ Ceramic Air Bearing Gantry Stage

세라믹 재질의 에어베어링 가이드는 화강석 재질에 비하여 진직도가 우수하고, 고강성으로 변형이 적으며, 흡수율이 작으므로 경년변화가 적고 치수 안정성이 뛰어납니다.
에어베어링 스테이지는 고정밀도가 요구되는 시스템에 적합합니다.

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에어베어링 스테이지

Gen. 5.5 XYT 평면(Planar)Air Bearing Stage

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에어베어링 스테이지

XY 평면(Co-planar) Air Bearing Stage

부하가 XY 평면상에서 지지됨으로써 XY 적층 구조의 스테이지에서 보이는 부하위치에 따른 변형이 적어 기구적 안정성이 우수하며 낮은 높이로 구현이 가능합니다. 또한 수직Z축과 회전 T축이 추가되면 다양한 모션의 구현이 가능합니다.

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에어베어링 스테이지

XYZP 수직 Ceramic Air Bearing Stage

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에어베어링 스테이지

Gen. 6 Planar Air Bearing Stage

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에어베어링 스테이지

Gen. 7.5 Air Bearing Stage

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에어베어링 스테이지

Gen. 4.5 Hybrid Air Bearing Stage

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에어베어링 스테이지

갠트리, 하이브리드, 크로스타입

- 나노급 고정도 스테이지
- 급가감속 및 정속 주행
- 표준형 및 전용장비 설계
- 소형부터 대형까지 다양한 사이즈 대응
- Z축 옵션
- 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인

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