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 Linear Motors |
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공심형(JTKL) :
- 정속특성 우수
- 고추력 고정밀 제어
- 추력범위 : 30N~4000N
- 정밀FPD, 반도체장비
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철심형(JTKC) :
- 가격대비 성능이 우수한 범용모터용
- 고추력 고속제어(추력범위 : 30N~4000N)
- 일반 FA 및 FPD 산업전반
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| Customized Linear Motors |
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아크모터 :
- 원호동작형 Coreless 리니어모터
- 고분해능, 고정도, 제어안정성 실현 |
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미니스테이지 :
- 반도체, 광학부품 제조 설비에 응용
- 정지시 떨림(50nm이하), 빠른 응답성
- 리니어 엔코더를 Full closed-loop제어하여 backlash 최소화
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수직위치결정 스테이지 :
- 볼스크류 구동z축 정밀 위치결정 스테이지
- 리니어 엔코더로 Full closed-loop 제어하여 backlash 최소화 및 정밀도 향상(옵션)
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