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Motion Stage

Air Bearing Stage

  
Description
セラミックス材質のエアベアリングガイドは石材質に比べて?直度が優れていて、高剛性で?形が少なく、 吸水率が少ないので?年?化が小さくて寸法の安定性に秀でています。エアベアリングステ?ジは、高精度が要求されるシステムに最適です。
Specification
Axis
X₁, X₂
Y
Storke
800mm
920mm
Guide
Granite air bearing
Ceramic air bearing
Load mass
30kg/Z Axis
Speed
500mm/sec
Acceleration
5m/sec²
Position accuracy(After calibration)
±0.3㎛
Repeatability
±0.1㎛
Stop Stability
±0.05㎛
Application field
Ultra precision length measuring Machine
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