• Home
  • Product
  • Motion Stage
Motion Stage

Air Bearing Stage

  
Description
負荷がXY平面上で支持されることで、XY積層構造のステージで現れる負荷位置に基づく変形が少なく、機械的安定性が優秀で、低い高さに製作可能です。 また垂直Z軸と回転T軸が追加されれば多様なモーションが可能です。
Specification
Axis
Storke
520mm X 520mm X 6mm(Z) X 360deg(T)
Guide
Air bearing
Load mass
20kg
Acceleration
2m/sec²
Position accuracy(After calibration)
1㎛
Repeatability
±0.5㎛
Speed ripple
0.1%, at 100mm/sec
T-axis, Z-axis
DDmotor, wedge type
Application field
Solar cell, Wafer Machines etc..
List