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Motion Stage

LM Guide Stage

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Description
- サーブマイクロン高精度ステージ
- マルチヘッド、多軸システム
- Z軸オプション
- 標準型及びカスタム設計
- 作業領域の拡大: 2,300mm x 5,000mm
- 用途 : FPD、PCB、電子機器半導体生産ライン
Specification