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Motion Stage

Air Bearing Stage

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Description
- ナノ級高精度ステージ
- 定速走行
- 標準型及びカスタム設計
- 小型から大型まで多様なサイズに対応
- Z軸オプション
- 用途 : FPD、PCB、電子機器半導体の生産ライン
Specification

 

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