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모션 스테이지

LM가이드 스테이지

Frame base Gantry Stage
  
설명
석정반 없이 경량화, 비용절감, 납기 단축을 하면서 성능을 개선했습니다. 고속운전을 요하는 리페어장치 또는 검사기 용도에 적합합니다

- FEM분석으로 고강성, 공진 억제 강관 프레임 설계/ 진동 억제, 新 제어 알고리즘으로 제어 성능 강화/ 고강성 및 경량 특수 소재 상축 빔(옵션)
사양
Parameter
Unit
X₁, X₂
Y
Remark
Motor
-
JTKCA050
JTKCA0650
Iron-core type
Size
mm
3,720
3,000
Gen. 8
Storke
mm
2,700
2,400
Gen. 8
Load mass
kg
-
140
-
Position accuracy
㎛
2
2
after compensation
Repeatability
㎛
±1
±1
-
Straightness
㎛
20
30
-
Flatness
㎛
40
40
-
Yaw
arcsec
20
20
-
Pitch
arcsec
20
20
-
Verticalness
arcsec
-
±5
-
Speed
mm/sec
1,600
1,600
maximum
Acceleration
m/sec²
5
5
average
Speed ripple
%
±0.2/100
±0.2/100
at 100mm/sec
Stabilization tim
msec/lpos band(㎛)
650/±0.5
250/±0.5
200mm move at 400mm/sec
Jitter
㎛
±0.1
±0.1
-
List