부하가 XY 평면상에서 지지됨으로써 XY 적층 구조의 스테이지에서 보이는 부하위치에 따른 변형이 적어 기구적 안정성이 우수하며 낮은 높이로 구현이 가능합니다. 또한 수직Z축과 회전 T축이 추가되면 다양한 모션의 구현이 가능합니다.
 사양표
축 |
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| 작업영역 |
520mm X 520mm X 6mm(Z) X 360deg(T) |
| 가이드 |
Air bearing
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| 부하질량 |
20kg |
| 가속도 |
2m/sec² |
| 위치정밀도(보정후) |
1㎛ |
| 반복정밀도 |
±0.5㎛ |
| 속도리플 |
0.1%, at 100mm/sec |
| T축, Z축 |
DD모터, wedge type |
| 응용분야 |
Solar cell, Wafer 장비 등 |
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