|
|
 |
 LM가이드 스테이지 |
|
|
 |
| 갠트리, 하이브리드, 크로스타입
|
- 서브 마이크론 고정도 스테이지
멀티헤드, 다축 시스템
-
Z축 옵션
|
- 표준형 및 전용장비 설계
-
작업영역의 확대: 2,300mm x 5,000mm |
| - 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인 |
|
|
|
| 에어베어링 스테이지 |
|
|
 |
| 갠트리, 하이브리드, 크로스타입 |
- 나노급 고정도 스테이지
-
급가감속 및 정속 주행 |
- 표준형 및 전용장비 설계
- 소형부터 대형까지 다양한 사이즈 대응
-
Z축 옵션
|
- 용도 : FPD, PCB, 전자기기 반도체 생산라인 |
|
|
|
|
|
|
|
