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모션 스테이지

에어베어링 스테이지

Gen. 4 XYZ Ceramic Air Bearing Gantry Stage
  
설명
세라믹 재질의 에어베어링 가이드는 화강석 재질에 비하여 진직도가 우수하고, 고강성으로 변형이 적으며, 흡수율이 작으므로 경년변화가 적고 치수 안정성이 뛰어납니다.
에어베어링 스테이지는 고정밀도가 요구되는 시스템에 적합합니다.
사양
Axis
X₁, X₂
Y
Storke
800mm
920mm
Guide
Granite air bearing
Ceramic air bearing
Load mass
30kg/Z Axis
Speed
500mm/sec
Acceleration
5m/sec²
Position accuracy(After calibration)
±0.3㎛
Repeatability
±0.1㎛
Stop Stability
±0.05㎛
Application field
Ultra precision length measuring Machine
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