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모션 스테이지

에어베어링 스테이지

XY 평면(Co-planar) Air Bearing Stage
  
설명
부하가 XY 평면상에서 지지됨으로써 XY 적층 구조의 스테이지에서 보이는 부하위치에 따른 변형이 적어 기구적 안정성이 우수하며 낮은 높이로 구현이 가능합니다. 또한 수직Z축과 회전 T축이 추가되면 다양한 모션의 구현이 가능합니다.
사양
Axis
Storke
520mm X 520mm X 6mm(Z) X 360deg(T)
Guide
Air bearing
Load mass
20kg
Acceleration
2m/sec²
Position accuracy(After calibration)
1㎛
Repeatability
±0.5㎛
Speed ripple
0.1%, at 100mm/sec
T-axis, Z-axis
DDmotor, wedge type
Application field
Solar cell, Wafer Machines etc..
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