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모션 스테이지

에어베어링 스테이지

Gen. 6 Planar Air Bearing Stage
  
설명
사양
Axis

X₁, X₂
Y
Storke
2,100mm
400mm
Guide
Air bearing
Load mass
250kg
Speed
800m/sec
Acceleration
2m/sec²
Position accuracy(After calibration)
4㎛
Repeatability
±1㎛
Option
Theta axis
Application field
LCD pattern inspection
List